1 用途
SiA200是一種的電容體的MEMS加速度計(jì)，專為慣性應(yīng)用設(shè)計(jì)。長(zhǎng)期穩(wěn)定性好，標(biāo)度因數(shù)重復(fù)性，低運(yùn)行偏差，振動(dòng)整流誤差以及低噪音等方面具備明顯優(yōu)勢(shì)。內(nèi)部集成了信號(hào)調(diào)理、模擬±2.7V輸出、內(nèi)置自檢電路和一個(gè)溫度傳感器方便用戶進(jìn)行補(bǔ)償。能夠?yàn)楦呔葴y(cè)量需求提供有效可靠的支撐。
2 產(chǎn)品特點(diǎn)(±30g)
l 運(yùn)行偏差穩(wěn)定性：45μg
l 極好的長(zhǎng)期零偏重復(fù)性：3.6mg
l 非線性度：±0.3%FS
l 嚴(yán)苛環(huán)境下具備極高可靠性
l LCC20，氣密封裝
3 產(chǎn)品應(yīng)用
【航空航天】慣性測(cè)量單元IMU、航空電子、姿態(tài)控制、平臺(tái)穩(wěn)定系統(tǒng)、無(wú)人機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)、機(jī)器人技術(shù)等
【海基陸基】尋北、聲納定位、船舶航海和控制、手持機(jī)地圖、載具定位等
【地質(zhì)勘探】LWD、MWD、鉆井導(dǎo)向、盾構(gòu)機(jī)等
4 性能參數(shù)
參數(shù) | 型號(hào) | 單位 | SiA202 | SiA210 | SiA230 | SiA2100 |
量程 | g | ±2 | ±10 | ±30 | ±100 |
偏值 | mg | 0.14 | 0.7 | 2.1 | 7 |
偏值重復(fù)性 | mg | 0.05 | 0.2 | 0.45 | 0.5 |
偏值穩(wěn)定性 | μg | 3 | 15 | 45 | 150 |
標(biāo)度因數(shù) | mV/g | 1350 | 270 | 90 | 27 |
標(biāo)度因數(shù)重復(fù)性 | ppm | 400 |
標(biāo)度因數(shù)穩(wěn)定性 | ppm | 120 |
失準(zhǔn)角 | mrad | 10 |
閾值（1Hz） | μg rms | 7 | 34 | 102 | 340 |
非線性（IEEE ） | % FS | 0.3 |
工作溫度 | ℃ | -40～125 |
功耗 | mW | 10 |
尺寸 | mm2 | 9×9 |
5 絕對(duì)最大額定值
參數(shù) | 條件 | 單位 | 最小值 | 最大值 |
供電電壓 |
| V | -0.3 | +3.9 |
任何PIN電壓 |
| V | -0.3 | VDD+0.3 |
操作溫度 |
| ℃ | -40 | 125 |
儲(chǔ)存溫度 |
| ℃ | -55 | 125 |
振動(dòng) | 隨機(jī) | g |
| 20 |
沖擊 | 單次沖擊/0.2ms/6方向 | g |
| 1500 |
ESD 應(yīng)力 | HBM模式 | kV | -1 | 1 |
